2025年6月24日-27日,仪器信息网与中国电子显微镜学会将联合主办“第十一届电子显微学网络会议(iCEM 2025)”。会议围绕当下电子显微学主要仪器技术及应用热点,邀请业界知名专家线上分享精彩报告。
CTI南宫NG28检测应邀参会,CTI南宫NG28检测半导体检测及分析中心沈玄博士将在【电子显微学在半导体制造中的创新应用(下)】专场,带来《电子显微镜助力芯片失效分析全揭秘》主题演讲。
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电子显微镜助力芯片失效分析全揭秘
2025年6月26日14:00-14:30
沈玄博士:CTI南宫NG28检测半导体检测及分析中心技术总监
电子显微镜凭借其无与伦比的纳米级分辨率与元素分析联用能力,成为芯片失效分析的核心工具。它能精确定位微小结构异常(如短路、断路、污染物)、直观揭示界面分层或空洞等物理缺陷、无损分析材料成分,是解析纳米尺度失效机制不可或缺的“眼睛”。
本报告将基于真实先进芯片案例,展示电子显微镜如何快速定位缺陷、揭示失效根源,彰显其在芯片良率提升与可靠性保障中的关键作用。
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